Compania noastră a dezvoltat un metalizator în vid de tip magnetron cu pulverizare catodică, tip rolă cu rolă

Care este principiul de funcționare al mașinii de metalizare în vid de tip magnetron cu pulverizare catodică, rolă cu rolă?

Mașinile de metalizare în vid de tip magnetron catodic se bazează pe interacțiunea dintre câmpurile electrice, câmpurile magnetice și particulele de gaz ionizat pentru a bombarda materialul de la o țintă solidă (sursa acoperirii) pe un substrat.

Când camera de vid este evacuată într-un mediu de vid înalt, se injectează un gaz inert în cameră, de obicei argon (Ar). O sursă de alimentare de curent continuu de înaltă tensiune se aplică între o țintă catodică (materialul care urmează să fie depus) și anod. Tensiunea ionizează atomii de argon, eliminând electroni pentru a crea o plasmă de ioni de argon încărcați pozitiv (Ar⁺) și electroni liberi.

Ionii de argon (Ar⁺) din plasmă sunt accelerați de câmpul electric către ținta încărcată negativ. Când ionii se ciocnesc cu ținta, aceștia transferă impuls atomilor acesteia, ejectându-i în faza de vapori. Acești atomi țintă ejectați se deplasează apoi și se condensează pe substrat, formând o peliculă subțire uniformă, densă și aderentă.

Caracteristica cheie a pulverizării cu magnetron constă în utilizarea unui câmp magnetic, produs de magneți amplasați în spatele țintei. Acest câmp magnetic captează electronii în apropierea suprafeței țintei, forțându-i să urmeze traiectorii elicoidale. Această confinare crește probabilitatea de coliziune electron-ion, sporind densitatea plasmei și eficiența ionizării. Drept urmare, un flux mai mare de ioni lovește ținta, crescând semnificativ rata de pulverizare în comparație cu metodele convenționale de pulverizare.

Care sunt avantajele pulverizării catodice cu magnetron?

Filme de înaltă calitate: Produce pelicule dense, cu defecte reduse, uniforme, cu o aderență excelentă datorită ratei mari de depunere.

Versatilitatea materialelor: Compatibil cu metale, aliaje, ceramică.